В.К. Попов. Расчёт и проектирование устройств электронной и ионной литографии
![Popov__Raschet_i_proektirovanie_ustroystv_elektronnoy_i_ionnoy_litografii](/media/files/u1031274/098/Popov__Raschet_i_proektirovanie_ustroystv_elektronnoy_i_ionnoy_litografii.jpg)
В пособии изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии. Даны основные понятия электронной оптики, описаны методы расчета аберрационных характеристик электронно-оптических систем с осевой симметрией и с малыми отклонениями от нее.
Издательство: Радио и связь
Год: 1985
Формат: pdf
Страниц: 130
Язык: русский
Скачать книгу (17,7 МБ):
oksanavalera 27/04/21 Просмотров: 1015
+1